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單晶硅晶圓全自動測量方案

滿足客戶對檢測的自動化集成

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??怂箍祮尉Ч杈A全自動測量方案,主要由三坐標測量機、上下料庫位,機器人及抓手,自動夾具,讀碼槍,自動測量控制系統等組成,實現晶圓的自動上下料,自動測量,數據自動保存及判定等功能。


主要應用在單晶硅晶圓的全自動測量,以及類似圓盤薄片零件的測量需求。

??怂箍抵圃熘悄馨鏅嗨?,并保留在未經事先通知的情況下更改信息的權利。

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